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駿佳科技有限公司成立於2007年5月,其成員具多年機械設計與製造經驗,結合半導體製程,尤其是在電漿設備,自動化設備及半導體業設備的消耗性零件具開發與整合的能力,可提供客戶:
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電漿設備
- 活性離子蝕刻機(RIE/HDPRIE)
- 電漿輔助化學氣相沉積(PECVD/HDPCVD)
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半導體設備消耗性零件
- Susceptor
- Heater
- Retaining Ring
- Collimator
- Shower Head
- Creamic Parts
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逆向工程服務(Reversed Engineerring)
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設備維修服務
駿佳科技同時代理台灣矽微電子股份有限公司開發的壓力系列產品:
- 數位式壓力表,
- 數位式壓力傳感器
- 數位式壓力開關。
駿佳科技與台灣矽微也於今年成功了共同開發提供半導體業用的高潔淨度VCR壓力接口的壓力系列產品:
- VCR Type 壓力傳感器
- VCR Type 壓力開關
歡迎各界指教與愛護, 若有需要服務, 請與我們聯絡。
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