駿佳科技有限公司
Junjia Tech Corp.
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| 橡皮槍 | ||
| 規格: | ||
| 一. | 綜合說明: | 腔體上蓋板上掀式設計，手動放置晶片,無Load Lock。 晶片尺寸: 8〞或8〞以下。 |
| 二. | 機台規格: | |
| 1. 腔體 | 鋁合金一體銑製成形無銲道，表面特殊陽極處理，以防止腐蝕。 腔體尺寸360x360mm；內徑 300mm。 (選項)--腔體可加循環水道，將腔體溫度控制在30~45°C，以防止開腔體時，濕氣沈積，污染腔體內壁。
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| 2. 上電極 | 上電極即為氣體導流板(Shower Head)。 氣體導流板有上千小孔，以確保氣流均勻流入腔體;並具有冷卻水道以控制溫度。 氣體導流板聯接射頻(RF)電源。 |
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| 3. 電漿源 | RF Generator 13.56MHz, 600W 自動匹配器。 |
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| 4. 晶片加熱載台 | 鋁材質製造, 內埋有電阻管加熱;配合PID溫控器，溫度可達400°C。均勻度<2%。 | |
| 5. 真空系統 | Turbo pump: Pumping speed>500L/sec,可快速將腔體壓力 (Base Pressure)抽到至10-6Torr低壓，並趕走腔體內殘存氣體,但不用在製程上。 |
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| 6.供氣系統 | 質量流量控制器(MFC): SiH4/NH3/H2/N2O/CF4....等,0~200sccm;依客戶製程需求。 腐蝕性氣體有氮氣purge |
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| 7.控制系統 | PC控制介面，在顯示器上，可做全部的手動操作，可執行全自動操作。 | |
| 三. | 鍍膜規格 | Nitride 及Oxide film，鍍膜速度為500A°/min以上，均勻度為±5% |
| 四. | 機台尺寸 | 寬800x深1060x高1900mm |